ESD保護(hù)二極管的PN結(jié)結(jié)構(gòu)如何影響其泄放能力?
2025-10-24
ESD保護(hù)二極管的PN 結(jié)結(jié)構(gòu)(如平面型、溝槽型)如何影響其ESD泄放能力?
1.平面型 PN 結(jié):
PN結(jié)位于芯片表面,結(jié)面積易做大,可承受更大的ESD脈沖電流(如:HBM 15kV),但寄生電容較大(因結(jié)面積大),且表面易受污染物影響導(dǎo)致?lián)舸╇妷翰环€(wěn)定,適用于低頻、大電流防護(hù)場(chǎng)景(如:電源VBUS)
1.1 平面型 PN 結(jié)是一種通過(guò)平面工藝(如光刻、擴(kuò)散或離子注入)在半導(dǎo)體晶片表面形成